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台积电目前已采购 35 台EUV设备，占ASML过半产量，2021 年底采购总量将超过 50 台。相较之下，三星EUV设备采购量目前不到 20 台。
此前，EUV光刻机制造商ASML首席执行官 Peter Wennink 带领高管拜访三星，双方寻求技术与投资合作。三星希望能抢在台积电之前，取得ASML下一代 EUV 设备供应。
业内人士分析称，三星积极追赶台积电，不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。7nm 制程方面，台积电先推出 FinFET 架构的 7nm 技术，再推出使用 EUV 的 N7+制程。5nm 方面，三星与台积电仍有二成产能的差距。
台积电加速先进制程推进，累计 EUV 光刻机至 2021 年底将超过 50 台。相较之下，三星电子 2021 年还不到 25 台，同时 EUV POD（光罩传送盒）采购量远低于预期。
未来几年全球对 EUV 光刻机的需求只会增加，但从目前的情况来看，在未来一段时间内，台积电仍将是这些光刻设备的主要采购者，三星和 Intel 将紧随其后。
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