国产设备企业随着中芯国际、长江存储等技术成熟度上升而获得更多验证试用平台和进口替代机会，但同时也正面临研发、税收、激励机制等方面的瓶颈和压力。受益于全球需求复苏和中国国产化机遇，我们认为2019 下半年到2020 上半年本土企业有望陆续开始显现回升态势。国内晶圆制造、测试设备代表企业的2019Q3 销售额均开始较快上升。

需求拐点叠加进口替代关键窗口期，本土设备龙头初步具备国产化能力我们认为国内半导体设备需求及订单向上拐点或已到来，2020 年行业有望实现较快成长，新增需求主要源自5G 商用推动全球存储芯片扩产及中国大陆整体晶圆、封测产能扩大，其中刻蚀和薄膜沉积设备的需求受益程度较高。国产设备企业随着中芯国际、长江存储等技术成熟度上升而获得更多验证试用平台和进口替代机会，但同时也正面临研发、税收、激励机制等方面的瓶颈和压力。目前本土设备产业链格局已初步形成，能够进入主流客户供应体系并契合未来工艺方向的优势企业主要包括：中微公司、北方华创、长川科技、晶盛机电等。

5G 产业驱动及本土扩产，2019 年Q4 或是半导体设备产业复苏拐点2019 年来受宏观经济承压、下游需求减弱等影响，国内外半导体及设备市场均出现同比下滑。但我们认为，下半年以来半导体设备产业逐步复苏，第四季度或是设备需求及订单的向上拐点期：1）历史上全球半导体及设备产业每一次市场低迷都随技术创新到来而结束，受益于5G、AI、IoT 产业驱动，全球、中国半导体单月销售额已进入环比回升通道，三星、台积电、中芯国际等国内外主流晶圆厂资本支出及北美半导体设备制造商销售情况也均已出现不同程度复苏；2）中国芯片产能逆周期投资为设备需求提供了较强成长韧性，中国设备市场的全球占比持续提升，2020 年或达全球之首。

内资晶圆厂技术成熟度上升为国产设备提供验证试用平台和进口替代机会海外设备龙头的技术发展历程均离不开与全球一流晶圆厂的合作开发，技术协同和产品验证至关重要。目前中芯国际、长江存储、合肥长鑫等本土领军企业正分别在逻辑电路芯片、3D NAND、DRAM 存储芯片领域布局先进制程产能且技术逐步成熟，为国产设备提供了验证试用平台和进口替代机会。受益于全球需求复苏和中国国产化机遇，我们认为2019 下半年到2020 上半年本土企业有望陆续开始显现回升态势。国内晶圆制造、测试设备代表企业的2019Q3 销售额均开始较快上升。

国内设备产业体系形成，优势企业初步具备进口替代能力国产半导体设备逐渐呈现谱系化发展，我们认为以下企业是具备较高技术水平的国产装备龙头。

2019-2020 优秀半导体设备及材料商推荐

一、半导体材料公司

1、国际：JSR Mcroelectronics、ETSC Technologies Co．、SEMI、Air Products、Ablestik、Cadence、Abrasive Technology、Praxair Electronics、TBW Industries、Applied Materials

2、中国大陆：特普高实业，浙江金瑞泓、南京国盛、河北普兴、有研、山东科大鼎新、北京达博、宁波江丰、有研亿金、上海新阳、安集、中能硅业科技、中环半导体、晶龙集团、新特能源、西安隆基、中硅高科、阳光能源、奥瑞德光电、天宏硅业、上海申和热磁（日企独资）、国盛电子、江丰电子材料、有研亿金、北京达博、上海新阳、安集微电子、有研新材料、湖北兴福电子、江化微、金瑞泓等。

二、半导体设备制造企业

1、晶圆清洗设备：Applied Materials、Dainippon Screen（DNS）常州硅密，昆山智程、北京华林嘉业，苏州施密科，宁波润华全芯，天津南轩，山东杰盛等

2、热处理设备：Applied Materials、ASM

3、离子注入设备：Applied Materials

4、CVD／PECVD／ALD设备：

5、PVD设备：Applied Materials、Aviza Technology、KDF、Novellus、Oerlikon、北方微电子

6、光刻设备：ASML、Canon、EV Group、Molecular Imprints、Nikon Precision ，北京京圳

7、涂布／显影设备：DNS、EV Group、Suss MicroTec、TEL、沈阳芯源 宁波润华全芯

8、刻蚀／去胶／灰化设备：Applied Materials、Aviza Technology、Axic、Hitachi High Technologies 宁波润华全芯 合肥真萍科技

9、CMP设备：Applied Materials、Ebara Corporation、Entrepix、Kinetic Systems、Novellus

10、电镀系统设备：Applied Materials、ECI Technology、Novellus、Semitool、Surfect

11、半导体工艺用石墨元件／材料：POCO Graphite、Carbone Lorraine、TOYO TANSO

12、封装测试设备：杭州长川，派利德科技，深圳诺泰，深圳复德，太仓晨启等;

13、水处理设备：深圳纯水一号，深圳水视界常州威立雅等

中国大陆：北方华创微电子装备、中微半导体设备、上海微电子装备、拓荆科技、中电科电子装备集团、中微半导体，七星华创、华海清科、深南电路、睿励科学仪器、上海微电子、达谊恒精密机械、汉民科技、琦升机械设备、上海康克仕商贸等。