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DScreen开发出晶圆端面的高精度蚀刻清洗技术

 发布时间：2020-05-16
据报道.日本DAINIPPON SCREEN MFG的半导体设备公司开发出了高精度清除附着于晶圆斜面(端面及其邻接倾斜部分)的金属膜的蚀刻清洗技术[Bevel Etching Chamber(BEC)".通过采用新的晶圆夹紧装置和处理方法等.改进 ...<全部>
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