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02专项光刻机浸液系统项目入驻杭州青山湖科技城

 发布时间：2020-05-25
电子网消息.据浙江在线报道.近日.国家02科技重大专项之一[28nm节点浸没式光刻机产品研发"的核心部件[光刻机浸液系统"项目签约入驻杭州青山湖科技城. 目前.该项目已拥有60余项发明专利.团队现有研发人员100 ...<全部>
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