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制作压力传感器中用到的简易双面光刻对准技术

 发布时间：2020-05-27
在压力传感器的微细加工技术中要求在样品背面的掩膜上光刻出压力腔窗口的图形而且与正面图形严格对准.待别是在设计时必须将力敏电阻安排在膜内,有时离开膜边的距离仅为30P".正反图形错开时.力敏电阻条对压力灵敏 ...<全部>
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