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释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术

 发布时间：2021-02-03
湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺.总部位于苏格兰的Point 35 Microstructures在SEMICON China期间推出了干法刻蚀模块与氧化物释放技术.该技术为MEMS器件设计师提供了更多的生产选择.同时带来了宽泛的制 ...<全部>
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释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术

 发布时间：2020-06-18
湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺.总部位于苏格兰的Point 35 Microstructures在SEMICON China期间推出了干法刻蚀模块与氧化物释放技术.该技术为MEMS器件设计师提供了更多的生产选择.同时带来了宽泛的制 ...<全部>
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