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N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用

 发布时间：2020-07-01
在亚微米的生产制造技术中.氮化硅工艺的particle已经成为产品良率的主要影响因素.本文主要针对立式LPCVD氮化硅炉管的氮化硅制造工艺中所遇到particle问题进行研究.通过大量的对比性实验进行排查与分析.并利用各 ...<全部>
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