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波导SOl化学气相沉积工艺特点

 发布时间：2020-08-07
对于SOl波导来说.CVD技术一般用来淀积其上包层.通常为二氧化硅或氮化硅.对于调制器等有源器件来说.这一层还起着隔离金属电极减小电极对波导造成损耗的作用.所以厚度一定要选择合适.不能太薄.如果薄了就不能起 ...<全部>
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科林研发推出减小工艺误差和支持多次曝光的蚀刻和沉积设备

 发布时间：2020-05-26
Marketwired 2014年7月7日美国加利福尼亚州旧金山消息――面向半导体行业提供创新的晶圆制造设备和服务的全球主要供应商科林研发(Lam Research Corp.)(纳斯达克股票代码:LRCX)今天推出两款新产品.这些产品能为先 ...<全部>
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