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晶圆级MEMS测试

 发布时间：2020-06-12
MEMS产业正处于一个飞速发展的阶段.但MEMS的早期测试仍是一个很大程度上被忽略的领域.MEMS的制造与经典的IC制造类似.但MEMS器件通常含有机械部分.因此封装占整个MEMS器件成本的大部分.由很多因素决定了器件要在 ...<全部>
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