AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反应器-EDA365

半导体制造 > 工艺设备 > 详情

发布时间：

AIXTRON SE最新推出世界上最大容量的MOCVD反应器——CRIUS II-L MOCVD反应器，将MOCVD反应器的容量、生产能力和LED生产成本都提升到新的高度，具有生产16x4英寸或69x2英寸晶圆的能力。

AIXTRON公司表示，新的MOCVD反应器是基于经过市场验证的CRIUS II平台而开发的，可以保证高性能氮化镓（GaN）LED生产过程的无缝迁移。

营销副总裁Rainer Beccard表示，降低制造成本是LED产业的一个关键问题，尤其在固态照明产品中。与MOCVD相关的制造成本中，反应器的产能仍然是影响制造成本的关键因素。

据悉，CRIUS II-L经过生产验证，确认是目前世界上最大的MOCVD反应器。另外，CRIUS II-L反应器还针对2-8英寸晶圆的生产进行了优化设计，将大大提高生产力。

『本文转载自网络,版权归原作者所有,如有侵权请联系删除』

上一篇:ARM与IBM芯片研发合作延至14nm

多晶硅产量仍存缺口质量亟待提高