——与以往方式相比，初期引进成本减少35%，综合成本降低80%——

    牛尾贸易（上海）有限公司（总公司：上海市浦东新区，总经理：中野哲男，以下简称“牛尾贸易（上海）”）对外宣布，将从2010年10月起开始在中国大陆地区正式销售用于LED晶片生产的世界首款※1全面投影式曝光机“UX4-LEDs”※2，该机可以自动对应2、4、6英寸三种尺寸、造价低廉、性能优越。

    目前在中国市场，随着全球液晶面板需求量的不断扩大，提高液晶面板的附加值、减轻环境负荷的呼声越来越高，为了满足市场要求，液晶面板背光用LED的产量迅速上升。同时，根据国家有关政策，中国各城市的照明街灯也正在逐渐被环保型LED所取代。

    针对对LED需求的急速增长，LED晶片制造商不但可以通过引进“UX4-LEDs”，使初期引进成本和综合成本与以往使用的曝光机相比分别降低35%和80%，还可以使其产品的吞吐量和质量得到大幅的提升。

    为了增加LED晶片的产量，需要将晶片尺寸从2英寸扩大到4英寸，同时还要增加从单片基板所能获得的晶片数量※3。而采用以往的曝光方式（步进式曝光机或接触式曝光机）※4放大晶片尺寸时，会加剧晶片的弯曲和歪斜，由于成膜不良等原因而造成成品率的降低。另外，随着晶片的更换，一般都需要重新设定机器或更换相应的零件，从而带来更多的成本支出和时间消耗等问题。因此，通过增大晶片尺寸来提高生产能力曾是企业在技术和成本两个层面需要攻克的重要课题。

    目前已经被日本、韩国、台湾等地的大型LED晶片生产厂家所采用的“UX4-LEDs”，在批量生产线方面，不仅能够解决基板翘曲的问题，还能对4英寸晶片进行全面曝光，与以往的曝光方式相比，其生产能力提高了300%※5。由于一台“UX4-LEDs”就能对应多种尺寸的晶片，因此有效节省了更改机器设定和更换零件的繁琐操作，从而实现了产品生产线的全自动化，大大地降低了生产成本。

    牛尾贸易（上海）有限公司总经理中野哲男表示，“UX4-LEDs”是在半导体和液晶生产领域业绩卓著的牛尾集团对原有的LED晶片生产用全面投影式曝光机进行重新设计和优化之后推出的新产品，其先进的性能和在节约成本方面的优异表现满足了中国市场的LED生产需求。与以往的手动式曝光机等相比，“UX4-LEDs”不仅在生产率上具有绝对优势，还有效地实现了综合成本的降低，作为中国曝光机生产领域的后起之秀，本公司有信心凭借该产品打入世界先进行列。

    从光源到光学系统、机械结构、电气、软件设计，牛尾集团是唯一一家始终坚持独立开发所有曝光机关键技术的曝光机生产厂家，今后，牛尾集团将继续开发最符合客户需求的生产设备，为提高客户的生产能力和降低成本做出应有的贡献。

※1  2010年6月30日（根据本公司调查结果）
※2　由牛尾贸易（上海）有限公司的母公司——牛尾电机（日本）制造。牛尾电机有着20多年的生产经验，主要生产和销售半导体、FPD、印刷基板、MEMS等各种用途的曝光设备，拥有接近式曝光机、接触式曝光机、投影式曝光机等丰富的产品系列。“UX系列”曝光设备的全球累计销量已经突破了1,000台。
※3 芯片生产能力：2英寸晶片约1万个，4英寸晶片约4万个
※4 属于半导体一种的LED生产，在蓝宝石晶片或硅晶片等基板上形成电极、电路以及生成保护膜时，与以往的半导体制造工艺一样，都需要使用曝光设备。中国大陆地区生产2英寸蓝宝石晶片一般采用步进式曝光机（分割投影曝光机）或接触式曝光机。有关曝光方式的区别请参见附件“曝光方式比较表”
※5 4英寸晶片曝光时 （根据本公司调查结果）

■ LED Chip生产用全面投影式曝光机“UX4-LEDs”    

① 2、4、6英寸全面投影曝光

    ・保护膜与晶片之间互不接触，因此避免了保护膜和晶片可能造成的损伤，防止了线路模式
     的缺陷。此外，由于无需更换和清洁保护膜，所以也节省了设备生产的时间。
    ・可对晶片进行一次性曝光，提高了生产效率（与以往的步进式曝光机相比，吞吐量提高了
3倍）

② 高对焦精度和高解析能力
    ・自行开发了最适合LED Chip生产的投影镜头、对焦系统和搬送机构。
    ・提高了透明电极等辨识性不良的对位系统的准确性，实现了高精度对焦。
 ・独家的真空吸附设计和高焦点深度，能够有效抑制尺寸放大造成的板翘问题。

③ 机动灵活的结构设计
    ・能够从设计阶段开始自动对应晶片的尺寸切换，无需人工操作，有效地节省了时间。
    ・主要元件采用模块化设计，便于更改规格和产品升级，维修保养也很容易。

④ 成本效益高
    ・由于从设计阶段开始就采用最适合LED的曝光设备，因此，与以往用于半导体生产的步进式曝光机相比，降低了初期的成本负担。耗电量和长期成本也能减少80%，有效地提高了成本效益。尤其是主机尺寸较前代减少了50%以上，使所需空间降到了3.0㎡以下。