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EVG于SEMICON展出微影制程解决方案

发布时间:2020-05-26 发布时间:
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EV Group(EVG)近日宣布旗下完整的制造设备与服务获得多家客户的订单,这些设备与服务设计,能满足晶圆级光学(WLO)及3D感测的殷切需求。EVG于国际半导体展(2017 SEMICON Taiwan),展出WLO产品线、EVG产品及全系列微影制程与晶圆接合解决方案。

EV Group企业技术总监Thomas Glinsner表示,市场对于晶圆级光学组件制造设备的需求正急速攀升,今年EVG出货多款多台透镜压铸与堆栈制造以及量测方面的设备至许多WLO一线制造商,用来量产各种组件。

该公司产品包括,用于步进重复(Step-and-repeat)母模(Master Stamp)制造的EVG770自动化UV-奈米压印微影(UV-NIL)步进机、晶圆级透镜压铸与堆栈制造专用的IQ Aligner UV压印系统,以及用来检验对准的EVG 40 NT自动量测系统。

该公司的NILPhotonics Competence 技术中心支持其WLO解决方案,该中心运用经实地验证的制程与设备知识,不仅支持各种新兴光子(Photonic)应用,还能藉由快速流程建置与优化,及客制化设备设计,大幅缩短产品上市时程。

EVG的设备在全球累积庞大的装机数量,运用EVG尖端压印微影与接合对准(Bond-alignment)技术生产出的晶圆级微型透镜、绕射光学组件、以及其他光学组件,能提供多方优势,其中包括透过高度平行化的制程降低拥有成本,及透过堆栈技术做出更微小的终端装置。


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