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陶氏推出全新IKONIC 研磨墊系列產品

发布时间:2020-05-16 发布时间:
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賓州費城 - 2012年9月5日- 隸屬於陶氏化學公司 (NYSE:DOW) 的陶氏電子材料事業群於今日推出全新的IKONIC™ 研磨墊平台,於化學機械研磨(CMP)市場中引進陶氏最先進的研磨墊產品。為了提供最廣泛的28奈米及更高階製程的CMP應用,IKONIC™提供一系列全新研磨墊產品,旨在達到最高水準的效能。

陶氏IKONIC™ 研磨墊平台提供多項產品,用於Cu製程、W製程、ILD製程、STI製程以及其他研磨應用等。其材質結合獨特的化學特性與特定範圍的硬度與孔隙率,能輕鬆提升研磨墊的使用效益。

IKONIC™ 研磨墊的設計能夠改善缺陷率,以達到更高的晶圓良率,並且可以延長研磨墊的使用壽命,進而延長設備的使用效率,同時還能加速製程的移除率進而提高客戶的產能效率,並具備符合製程所需的選擇比要求。這些特色都使IKONIC™ 研磨墊平台成為廣泛高階研磨應用的完美選擇。

陶氏電子材料CMP全球行銷總監Colin Cameron表示:「就今日的CMP市場而言,『一體通用』的產品已經不再可行;我們需要更靈活的平台產品來因應製程上更高階、且更具技術挑戰的客戶需求。陶氏將運用其高分子聚合物領域的專業以及開發CMP解決方案的能力,來協助客戶生產新

世代裝置,實現客戶在提升良率以及降低成本的需要,而我們也將以此做為推動內部各項研究計畫的動力。」

陶氏電子材料的IKONIC™ 研磨墊平台為CMP領域樹立了新的標準,基於陶氏在材料科學、研磨、製造和大規模供應等多個領域的專業能力,結合與客戶的緊密合作關係,使陶氏穩居CMP的領導地位。

IKONIC™ 研磨墊目前處於測試期,預計將於2013年初進入量產。


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