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250瓦EUV光源成就EUV微影技术新突破.EUV微影技术将大量生产

 发布时间：2020-06-04
微影设备大厂ASML宣布该公司已经达成了最重要且长期难以突破的里程碑:250瓦EUV光源.尽管所花的时间与成本几乎比所有人预期得要多.半导体产业终于还是快要盼到极紫外光(extreme ultraviolet.EUV)微影技术的大量生 ...<全部>
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次世代微影技术主流之争 EUV可望2014年进入量产

 发布时间：2020-05-23
目前次世代微影技术发展仍尚未有主流出现.而身为深紫外光 (EUV)阵营主要推手之一的比利时微电子研究中心(IMEC)总裁Luc Van den hove指出.EUV技术最快于2014年可望进入量产.而应用存储器制程又将早于逻辑制程.他 ...<全部>
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