离子注入机-EDA365

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|相关技术

什么是离子注入?对半导体工艺有何影响?

发布时间：2021-11-17

今天聊一下半导体工艺的一个知识,离子注入.离子注入是半导体掺杂以及改性常用的一个工艺.把需要掺杂的杂质电离成电子,然后加速,去碰撞到半导体wafer上,就像弯弓射箭靶一样,箭的动能越大,射进靶的深度也会越深 ...<全部>

半导体设计

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万业旗下凯世通离子注入设备启动认证.业务获巨大突破

发布时间：2021-11-16

据悉.国内重要的 12 英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序.万业企业集成电路前道装备业务获得巨大突破.万业企业表示.公司已明确凯世通以集成电 ...<全部>

技术百科

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烁科中科信:离子注入机国产化替代步伐加速

发布时间：2021-11-15

烁科中科信宣布.12 英寸中束流离子注入机顺利搬入集成电路大产线.此举标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶!CMOS 工艺的发展极大推动了离子注入(Ion Implantation)工艺的发展.也可以说离子注入工艺的 ...<全部>

技术百科

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新突破!中国电科实现离子注入机全谱系产品国产化

发布时间：2021-09-14

据新华社报道.中国电子科技集团有限公司旗下装备子集团已成功实现离子注入机全谱系产品国产化.可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案.据介绍.中国电科连续突破高性能离子源.高速晶圆传输等[卡脖子 ...<全部>

技术百科

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陈炯:未来发展重点为太阳能离子注入机和集成电路

发布时间：2020-07-01

中证网讯 (记者孙翔峰实习记者陈星颐.陈心怡)在8月6日下午举行的万业企业发行股份购买资产媒体说明会上.凯世通原实际控制人.董事长兼总经理陈炯表示.凯世通未来的发展重点方向为太阳能离子注入机和集成电路 ...<全部>

工艺设备

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离子注入机

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国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线

发布时间：2020-05-16

由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司.开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验.为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后 ...<全部>

材料技术

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