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光刻机
一文解析刻蚀机和光刻机的原理及区别
什么是光刻机 光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机.曝光系统.光刻系统等.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干.涂底.旋涂光刻胶.软烘.对准曝光.后烘.显影.硬烘.刻蚀等工序. Photolithog...
材料技术
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光刻机
发布时间:2020-05-16
光刻机结构组成及工作原理
光刻机介绍 光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机.曝光系统.光刻系统等.常用的光刻机是掩膜对准光刻.所以叫 Mask Alignment System. 光刻机分类: 光刻机一般根据操作的简便性分为三种.手动....
材料技术
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光刻机
发布时间:2020-05-16
晶圆制造到底难在哪?
近年来.国家对半导体行业越来越重视.已经将集成电路作为重点发展的战略产业之一.作为全球最重要的电子制造基地.中国的电子应用市场巨大.有着广阔的前景.尽管如此.我们仍不能过于骄傲.毕竟还有很多的技术等待...
材料技术
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晶圆制造
硅晶片
光刻机
发布时间:2020-05-15
步进扫描光刻机
步进扫描光刻系统是一种混合设各.融合了扫描投影光刻机和分步重复光刻机技术.是通过使用缩小透镜扫描一个大曝光场图像到晶片上一部分实现的.这种技术在一定程度上缓解了器件特征尺寸减小而半导体晶圆物理尺寸增加...
技术百科
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光刻机
光刻
步进
发布时间:2024-05-20
光刻垄断难解.技术难在哪?
经常听说.高端光刻机不仅昂贵而且还都是国外的.那么什么是光刻机呢?上篇我们聊了从原材料到抛光晶片的制成过程.今天我们就来聊聊什么是光刻....
技术百科
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集成电路
晶体
光刻机
发布时间:2024-05-20
比印钞机还金贵的光刻机市场解析
在芯片领域.有一样叫光刻机的设备.不是印钞机.但却比印钞机还金贵.历数全球.也只有荷兰一家叫做阿斯麦(ASML)的公司集全球高端制造业之大成.一年时间造的出二十台高端设备.台积电与三星每年为此抢破了头.中...
半导体生产
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光刻机
ASML
发布时间:2024-05-20
光刻机的匹配和调整
周虎明 韩隽(中国电子科技集团公司第58研究所.江苏 无锡 214035)摘要:光刻机的匹配使用是半导体工艺大生产线上提高生产效率的一项重要措施.光刻机的匹配主要包括场镜误差的匹配和隔栅误差的匹配.如何调整相同型...
技术百科
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光刻机
光刻
发布时间:2024-05-20
ASML一季度接到73台光刻机订单.新一代设备还有等多久?
据国外媒体报道.光刻机制造商阿斯麦的报告显示.在今年的一季度.他们共接到了客户的 73 台光刻机订单.其中 11 台是极紫外光刻机.这 73 台光刻机订单中.有 72 台将是新生产的光刻机.另外 1 台则是翻新的光刻机...
技术百科
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光刻机
ASML
阿斯麦
发布时间:2024-05-20
华卓精科申请IPO.光刻机的国产化工作任重道远
华卓精科正在申请 IPO.这家公司以光刻机双工件台这一超精密机械领域的尖端产品为核心.与与国内的光刻机龙头厂商上海微电子保持良好的合作关系.并成为其光刻机双工件台的供应商.就技术水平而言.华卓精科的双工件...
技术百科
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光刻机
ASML
华卓精科
精密机械
发布时间:2024-05-20
中国光刻机之殇:ASML 已出货700多台.但EUV 被美国盯死
荷兰向中国出口EUV光刻机.拜登会同意吗?中国需要光刻机.尤其是支持先进制程的高端光刻机.具体来说.就是EUV(极紫外光源)光刻机.目前.世界上能够制造EUV光刻机的.只有一家...
技术百科
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光刻机
EUV
拜登
发布时间:2024-05-20
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一期总投资5亿,出场即“巅峰”,这家EDA公司凭什么立足?
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片内相位测量工具模拟光刻机