光刻机-EDA365

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半导体业衰退重创设备业

在全球金融危机影响下.半导体业正进入前所未遇的严重衰退时期.半导体固定资产投资在2008年下降27.3%基础上.2009年将再下降34.1%.综合分析各大分析机构的预测数据.2009年全球半导体业年销售额的下降幅度将在...

接口

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发布时间：2021-01-07

上亿美元的光刻机牛在哪儿?来看看就知道了

中学课本上有一篇文章叫核舟记.讲述了古人在核桃上刻出苏轼泛舟赤壁图的奇巧技艺. 几百年后.半导体产业已经将这种细微处创造天地的技艺发展到超乎想象的境地. 本文要说的.就是让半导体真正能够妙至颠毫的...

工艺设备

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发布时间：2020-12-24

光刻机是怎么雕刻出远远小于自己波长的线宽的?

线宽(linewidth)是光学专有名词. 波长λ=193nm 那线宽指的就是Δλ一般是几个到几十个波数(记不清了). 我知道题目的意思是.193nm 这么宽.怎么能刻出 45nm 的宽度呢. 他说的是分辨率.其他答主讲了很多.我简单...

工艺设备

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发布时间：2020-07-01

国产光刻机屡获创新.但为何仍解决不了[缺魂少芯" ?

者不看好非传统半导体材料或是工艺的进步能够改变目前我国[缺芯少魂"的现状.同时.发展这些新材料和新工艺做一些特殊领域的芯片也还是有相当的前途的.不能一概否定.(甘棕松团队研制的9nm线宽双光束超衍射极限光...

技术百科

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发布时间：2020-06-18

这些[细节"让中国难望顶级光刻机项背

近年来.中国科技正带着澎湃动力向前奔跑.并逐渐进入到跟跑.并跑.领跑[三跑并存"的阶段.但我们在充满信心的同时.还应更加清醒和理性.与发达国家相比.我国不少领域关键核心技术受制于人.亟待集中力量奋力攻关...

技术百科

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光刻机
专利

发布时间：2020-06-18

EUV光刻机需求强劲:大家都有钱都想买.就是货不多

用了将近30年的时间.荷兰光刻机巨头ASML(阿斯麦)终于要超过Applied Materials(美国应用材料公司).成为全球最大的半导体设备企业.TIN调研公司主席Robert Castellano称.过去三年.应用材料在晶圆前端领域(WFE...

技术百科

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发布时间：2020-06-17

华虹12寸晶圆厂装备大陆最先进沉浸式光刻机:迈向14nm

中芯国际花了1.2亿美元从荷兰ASML(阿斯麦)买来一台EUV极紫外光刻机.未来可用于生产7nm工艺芯片.长江存储也迎来了自己的第一台光刻机.同样来自ASML.不过是193nm沉浸式.用于产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆.7200...

技术百科

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光刻机
华虹

发布时间：2020-06-06

价值7200万美元.长江存储首台光刻机运抵武汉

长江存储的首台光刻机已于今天中午运抵武汉天河机场.设备相关的海关.商检及边防口岸的相关手续办理完成后.即可运至长江存储的工厂.据集微网独家消息.这台光刻机为ASML的193nm浸润式光刻机.售价7200万美元.用...

技术百科

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发布时间：2020-06-06

EUV能成就中国芯之梦吗?

中兴通讯受美国政府制裁一案.为大陆高端芯片的自主拉起警报.大陆自官方到民间无不立刻加大芯片研发的投资力度.日前有消息指.长江存储与中芯国际在近日突破海外封锁.先后从荷兰艾司摩尔(ASML)公司订购了两台总值...

技术百科

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芯片
光刻机

发布时间：2020-05-29

22纳米芯片即将国产化.紫外超分辨光刻装备已制成

超分辨光刻装备核心部件纳米定位干涉仪以及精密间隙测量系统.国家重大科研装备研制项目[超分辨光刻装备研制"29日通过验收.这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备.该光刻机由中国科学院光电技...

半导体生产

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发布时间：2020-05-27

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佳能推出i线光刻机高分辨率新产品“FPA-5520iV HR Option”

应用传统紫外光刻机进行紫外压印